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老澳门开门奖结果查询产品推介‖单晶炉用冷却水旋转接头

发布日期: 2023-08-01    浏览次数: 1309    新闻编辑: 

      半导体材料是半导体工业的基础材料,其中硅作为半导体材料中用量最大和用途最广的材料。在半导体芯片中,单晶硅材料占据了整个芯片体积的约99%,其生产技术和产量体现了一个国家在半导体行业中的发展水平。同时随着光伏行业的迅猛发展,单晶硅又被用来制作太阳能电池,逐渐取代多晶硅的行业占比。以此,市场对单晶硅的品质和长晶装备稳定性的要求也越来越高。

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       单晶炉作为一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,然后用直拉法生长无错位单晶的专用冶炼设备,是目前人工单晶硅生长设备中很重要的产品系列。其结构如上图所示,主要由主机(包括炉体、籽晶旋转提升机构、坩埚轴驱动机构)以及抽气系统、充气系统、液压系统、水冷系统、加热电路电源、磁场控制装置等组成。

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      单晶直径生长过程中的质量,与温度、提拉速度和转速,坩埚跟踪速度和转速,保护气体的流速等因素密切相关。其中,坩埚轴驱动部件作为单晶炉设备的核心部件之一,要求各种精度都比较高。冷却水旋转接头作为坩埚轴驱动机构模块的重要零部件装置,安装于坩埚轴的下部,主要起到冷却以及旋转密封的作用,实现固定管道的冷却水输送及热交换后的热水排出。同时在设备运转过程中,若旋转接头阻力大,则极易影响坩埚轴偏心振动,从而降低单晶硅的生产质量。可以说,旋转接头的品质高低也成为了单晶炉生产单晶硅品质高低不可忽视的关键。

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      以上系列单晶炉用冷却水旋转头的提升不止是阻力优化,更是产品综合性能的全面提升。通过技术和工艺的提升,实现产品“更安全、更可靠、更高效、更环保”全面升级,使用效果媲美国外进口产品,不仅仅在单晶炉行业中,同时在其他相关领域的实际应用中均取得了很好的效果,为客户带来更加安全可靠的使用体验,并创造了更大经济效益。

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